ＭＥＭＳ は、Ｍｉｃｒｏ　Ｅｌｅｃｔｒｏ　Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　Ｓｙｓｔｅｍ の頭文字をとったもので、微小電気機械素子およびその創製技術の意味です。日本で従来から「マイクロマシン」(micromachine)、ヨーロッパで「MST」(Microsystem Technology)と呼ばれるものもほぼ同じ意味です。米国においては半導体製造技術の応用により、日本やヨーロッパにおいてはメカトロニクス技術の微小化の進展により、技術開発が進められています。

現在ではプロジェクタの光学素子の一種 DMD (Digital Micromirror Device) や、インクジェットプリンタのヘッド部にある微小ノズルなどでＯＡ機器や圧力センサー、加速度センサー、流量センサーなどでカーエレクトロニクスに採用されています。日本で従来から米国では一般的に MEMS と呼ばれていますが、日本では「マイクロマシン (micromachine)」、ヨーロッパでは「MST (Microsystem Technology)」と呼ばれるものもほぼ同義です。米国においては半導体製造技術の応用により、日本やヨーロッパでは、多くがメカトロニクス技術 (機械装置に電子工学を融合した技術)の微小化の進展により、技術開発が進められています。

この中で光に関するものをさらに　光ＭＥＭＳ、ＭＯＥＭＳ　（Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems）とよばれることもあります。光ＭＥＭＳの応用としては通信分野で光スイッチやアッテネータとして使用されるほかに、レーザをスキャンするアプリケーションに使用されます。このサイトではこの光ＭＥＭＳスキャナについてのみ扱うこととします

光ＭＥＭＳスキャナは、従来のスキャナと比較して、小型、高速、長寿命、省電力、低騒音の特徴を持ち、レーザディスプレイ、レーザプリンタ、レーザセンサなどの応用が考えられ、実用化されつつあります。当サイトでは広く光ＭＥＭＳスキャナを応用していただくために情報を提供し、ユーザー、アプリケーションメーカーと、ＭＥＭＳメーカーの橋渡しの一環を担うことを目的としています。