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明日を拓く、光MEMSスキャナ
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光 MEMS スキャナとは

MEMS は、Micro Electro Mechanical System の頭文字をとったもので、微小電気機械素子およびその創製技術の意味です。日本で従来から「マイクロマシン」(micromachine)、ヨーロッパで「MST」(Microsystem Technology)と呼ばれるものもほぼ同じ意味です。米国においては半導体製造技術の応用により、日本やヨーロッパにおいてはメカトロニクス技術の微小化の進展により、技術開発が進められています。

現在ではプロジェクタの光学素子の一種 DMD (Digital Micromirror Device) や、インクジェットプリンタのヘッド部にある微小ノズルなどでOA機器や圧力センサー、加速度センサー、流量センサーなどでカーエレクトロニクスに採用されています。日本で従来から米国では一般的に MEMS と呼ばれていますが、日本では「マイクロマシン (micromachine)」、ヨーロッパでは「MST (Microsystem Technology)」と呼ばれるものもほぼ同義です。米国においては半導体製造技術の応用により、日本やヨーロッパでは、多くがメカトロニクス技術 (機械装置に電子工学を融合した技術)の微小化の進展により、技術開発が進められています。

この中で光に関するものをさらに 光MEMS、MOEMS (Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems)とよばれることもあります。光MEMSの応用としては通信分野で光スイッチやアッテネータとして使用されるほかに、レーザをスキャンするアプリケーションに使用されます。このサイトではこの光MEMSスキャナについてのみ扱うこととします

光MEMSスキャナは、従来のスキャナと比較して、小型、高速、長寿命、省電力、低騒音の特徴を持ち、レーザディスプレイ、レーザプリンタ、レーザセンサなどの応用が考えられ、実用化されつつあります。当サイトでは広く光MEMSスキャナを応用していただくために情報を提供し、ユーザー、アプリケーションメーカーと、MEMSメーカーの橋渡しの一環を担うことを目的としています。


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